一种激光背面湿式加工蓝宝石基片的夹具装置

摘要

本实用新型是一种激光背面湿式加工蓝宝石基片的夹具装置，包括有容器、固定装置、压紧装置、保护装置、取片装置、搅拌装置。其中容器中装有工作液体；通过固定装置可以快速将蓝宝石基片进行定位和固定，再通过压紧装置可以保证蓝宝石下表面与工作液体紧密的接触，固定装置和压紧装置可以防止工件在加工过程当中移动，从而保证加工的精度；保护装置可以防止液体溢出到容器之外，取片装置则可以在加工完成之后实现快速取片；搅拌装置为磁力加热搅拌器，作用是使得混合溶液中的微纳颗粒在加工过程中处于悬浮状态，使得光化学反应更加充分，促进蓝宝石的加工。本实用新型加工中切槽热效应小，加工区域无重凝层，加工质量好，可以实现成形切割。本实用新型操作简单，方便实用，具有较高的加工效率。

主权项

一种激光背面湿式加工蓝宝石基片的夹具装置，其特征在于包括有容器(10)、固定装置(13)、压紧装置(4)、保护装置(5)、取片装置(11)、搅拌装置(8)，其中蓝宝石基片(1)固定在工作台上的容器(10)上部，并在容器(10)四周设置保护装置，再通过压紧装置(4)可以保证蓝宝石下表面与工作液体(6)紧密的接触，取片装置(11)则可以在完成加工之后实现快速取片；在容器内部放置搅拌子(9)，夹具放置在搅拌装置(8)上方，加工过程中不断搅拌工作液体(6)，使得其中的微纳颗粒(7)均匀的分布在容器(10)之中。