在玻璃容器内壁形成多层阻隔性薄膜的设备

摘要

本实用新型涉及一种在玻璃容器内壁形成多层阻隔性薄膜的设备，用于为玻璃容器的内壁形成多层阻隔性薄膜，包括机座、输气管道、微波密封罩、天线、模式转换器、调配器、波导管、脉冲微波发生源。玻璃容器收容于微波密封罩内，微波密封罩置于机座上，输气管道与微波密封罩贯通，脉冲微波发生源通过波导管与模式转换器连通，脉冲微波发生源用于产生高功率脉冲微波，高功率脉冲微波经过波导管导入到模式转换器，且高功率脉冲微波在调配器的调谐下经过天线，并均匀的进入到玻璃容器的内部；还包括真空泵，真空泵设于输气管道上。此设备可对复杂的玻璃容器的内壁进行镀膜，提高产品使用寿命，提高沉积效率，降低生产成本，提高膜层附着力和均匀性。

主权项

一种在玻璃容器内壁形成多层阻隔性薄膜的设备，用于为玻璃容器的内壁形成多层阻隔性薄膜，其特征在于，包括：机座、输气管道、微波密封罩、天线、模式转换器、调配器、波导管、脉冲微波发生源；所述玻璃容器收容于所述微波密封罩内，所述微波密封罩置于所述机座上，所述输气管道与所述微波密封罩贯通，所述脉冲微波发生源通过所述波导管与所述模式转换器连通，所述脉冲微波发生源用于产生高功率脉冲微波，所述高功率脉冲微波经过所述波导管导入到所述模式转换器，且所述高功率脉冲微波在所述调配器的调谐下经过所述天线，并均匀的进入到所述玻璃容器的内部；在玻璃容器内壁形成多层阻隔性薄膜的设备还包括真空泵，所述真空泵设于所述输气管道上。