| 发明名称 | 金红石结构氧化钛的制备方法及其叠层结构 | ||
| 摘要 | 本发明揭示形成一种金红石结构氧化钛的叠层结构及其制备方法，其包含形成一氧化钌层于一基板上；形成一氧化镨层于该氧化钌层上；形成一氧化钛层于该氧化镨层上；其中形成于该氧化镨层上的氧化钛层具有一金红石结构。该氧化层是由多个原子层沉积周期而形成，其中该原子层沉积周期使用含有钌的前驱物、镨的前驱物、钛的前驱物以及臭氧。 | ||
| 申请公布号 | CN103208477B | 申请公布日期 | 2015.09.30 |
| 申请号 | CN201210379786.3 | 申请日期 | 2012.10.09 |
| 申请人 | 南亚科技股份有限公司 | 发明人 | 谢君毅;威斯瓦那斯·保哈;詹妮佛·西格曼;瓦西尔·安托诺夫;徐薇惠 |
| 分类号 | H01L23/522(2006.01)I;H01L23/532(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;C01G23/047(2006.01)I | 主分类号 | H01L23/522(2006.01)I |
| 代理机构 | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人 | 冯志云;郑特强 |
| 主权项 | 一种金红石结构氧化钛的叠层结构，其特征在于，包含：一基板；一第一氧化层，叠置于该基板上；一第二氧化层，叠置于该第一氧化层上，该第二氧化层包含氧化镨；以及一第三氧化层，叠置于该第二氧化层上，该第三氧化层包含氧化钛，其中所述氧化钛具有一金红石结构。 | ||
| 地址 | 中国台湾桃园县 | ||