| 发明名称 | 位移检测装置 | ||
| 摘要 | 一种位移检测装置(1)，其中，物镜(3)将来自光源(2)的出射光朝向待测表面(101)会聚。分离光学系统(4)使来自待测表面(101)的反射光的光路与来自光源(2)的出射光的光路分离。通过分离光学系统(4)的反射光被准直透镜(7)会聚，像散产生器(8)在所述反射光中产生像散，这种状态下的反射光被入射到光接收部(9)。位置信息生成器(10)利用基于光接收部(9)检测到的光量获得的焦点误差信号生成待测表面(101)的位置信息。另外，当由物镜(3)会聚的出射光的焦点位于待测表面(101)的前侧或后侧时，聚光器(7)、像散产生器(8)或光接收部(9)在光轴上的位置被设定成使得焦点误差信号的值等于“0”。 | ||
| 申请公布号 | CN102313519B | 申请公布日期 | 2015.09.30 |
| 申请号 | CN201110154954.4 | 申请日期 | 2011.06.08 |
| 申请人 | 德马吉森精机株式会社 | 发明人 | 小栗大介 |
| 分类号 | G01B11/02(2006.01)I;G01B11/30(2006.01)I | 主分类号 | G01B11/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇;张会华 |
| 主权项 | 一种位移检测装置，其包括：光源；物镜，所述物镜适于将从所述光源发出的出射光朝向待测表面会聚；分离光学系统，所述分离光学系统适于使来自所述待测表面的反射光的光路与来自所述光源的出射光的光路分离；聚光器，所述聚光器适于会聚借助所述分离光学系统与所述出射光的光路分离的所述反射光；像散产生器，所述像散产生器适于对由所述聚光器会聚的所述反射光产生像散；光接收部，所述光接收部适于检测已经由所述像散产生器产生像散的所述反射光的量；位置信息生成器，所述位置信息生成器适于利用基于所述光接收部所检测到的所述反射光的量获得的焦点误差信号生成所述待测表面的位置信息；和移动机构，所述移动机构使所述聚光器、所述像散产生器和所述光接收部中的任一方在光轴方向上移动，以使得在预先设定于所述待测表面的前侧或者后侧的、所述出射光的焦点位置处，所述焦点误差信号的值等于“0”。 | ||
| 地址 | 日本奈良县 | ||