用于定位DMD光刻系统中相机焦平面位置的新型分划板

摘要

用于定位DMD光刻系统中相机焦平面位置的新型分划板属于用于确定DMD光刻系统中相机的焦平面位置的辅助装置领域，该分划板为透明材质的平面薄板，其上端面设有反光镀膜间隔条纹，所述反光镀膜间隔条纹的宽度均相同，它们彼此平行且间距相等；反光镀膜间隔条纹的间隙部分形成透光条纹，透光条纹的宽度均相同，它们彼此平行且间距相等；所述反光镀膜间隔条纹和透光条纹均与分划板外轮廓线相交并形成界限清晰且规律断续的外轮廓线边缘。本发明为快速校准分划板的端面倾角姿态是否与光轴垂直提供参考依据，可以辅助校准分划板沿光轴方向的距离位置，具有辅助CCD调焦相机倾角姿态校准的作用。

主权项

用于定位DMD光刻系统中相机焦平面位置的新型分划板，其特征在于：该分划板(8)为透明材质的平面薄板，其上端面设有反光镀膜间隔条纹(8‑2)，所述反光镀膜间隔条纹(8‑2)的宽度均相同，它们彼此平行且间距相等；反光镀膜间隔条纹(8‑2)的间隙部分形成透光条纹(8‑1)，透光条纹(8‑1)的宽度均相同，它们彼此平行且间距相等；所述反光镀膜间隔条纹(8‑2)和透光条纹(8‑1)均与分划板(8)外轮廓线相交并形成界限清晰且规律断续的外轮廓线边缘(8‑3)。