一种大数值孔径条纹对比度可调节的点衍射干涉装置

摘要

本发明公开了一种大数值孔径条纹对比度可调节的点衍射干涉装置。线偏振激光器出射的光经过二分之一波片、第一四分之一波片、第一分光镜后分为两束，透射部分通过两个反射镜和第二分光镜后进入准直扩束系统，反射部分通过第二四分之一波片、两个反射镜、第三四分之一波片后产生旋向与透射部分相反的圆偏振光，并经过第二分光镜进入准直扩束系统，两束光会合后通过显微物镜会聚到点衍射孔上，衍射出含有左旋和右旋两束光的近似标准球面波，测试光经待测件反射、点衍射板反射后与旋向相反的参考光会合，经过第四四分之一波片和检偏器后得到干涉条纹，通过旋转检偏器来实现干涉条纹对比度可调。本发明实现了条纹对比度可调，测量精度高。

主权项

一种大数值孔径条纹对比度可调节的点衍射干涉装置，其特征在于：包括线偏振激光器（1）、二分之一波片（2）、第一四分之一波片（3）、第一分光镜（4）、第一反射镜（5）、第二反射镜（6）、第二四分之一波片（7）、第三反射镜（8）、第四反射镜（9）、第三四分之一波片（10）、第二分光镜（11）、准直扩束系统（12）、显微物镜（13）、点衍射板（14）、待测球面（15）、压电移相器（16）、准直透镜（17）、第四四分之一波片（18）、检偏器（19）、成像透镜（20）和探测器（21）；线偏振激光器（1）、二分之一波片（2）、第一四分之一波片（3）、第一分光镜（4）和第一反射镜（5）依次共光轴设置，上述部件所在光轴为第一光轴；第四反射镜（9）、第三四分之一波片（10）、第二分光镜（11）、准直扩束系统（12）、显微物镜（13）和点衍射板（14）依次共光轴设置，上述部件所在光轴为第二光轴，第二光轴与第一光轴垂直；第一分光镜（4）、第二四分之一波片（7）和第三反射镜（8）依次共光轴设置，上述部件所在光轴为第三光轴，第三光轴与第二光轴平行，且与第一光轴垂直；第二反射镜（6）位于第一反射镜（5）和第二分光镜（11）之间，将第一反射镜（5）的光束反射至第二分光镜（11）；待测球面（15）与压电移相器（16）连接，待测球面（15）所在光轴为第四光轴，准直透镜（17）、第四四分之一波片（18）、检偏器（19）、成像透镜（20）和探测器（21）依次共光轴设置，上述部件所在光轴为第五光轴，第四光轴和第五光轴关于第二光轴对称。