薄膜形成方法及薄膜形成装置

摘要

本发明提供一种薄膜形成方法及薄膜形成装置，其不会导致降低吞吐量就能够固化基板上附着的薄膜材料。本发明的薄膜形成方法中，在载物台上保持基板，从喷头吐出光固化性薄膜材料的液滴，并使薄膜材料的液滴着落于基板的表面。从临时固化用光源对着落于基板上的薄膜材料照射光，使薄膜材料的表层部固化。着落液滴的工序及固化薄膜材料的表层部的工序之后，从载物台搬出基板。

主权项

一种薄膜形成方法，其包括：在载物台上保持基板，从喷头吐出光固化性薄膜材料的液滴，使所述薄膜材料的液滴着落于所述基板表面上的工序；从临时固化用光源对着落于所述基板上的所述薄膜材料照射光，并使所述薄膜材料的表层部固化的工序；在着落所述液滴的工序及使所述薄膜材料的表层部固化的工序之后，从所述载物台搬出所述基板的工序；及从正式固化用光源对表层部固化后的所述薄膜材料照射光，并使由所述薄膜材料构成的薄膜固化至其内部的工序；其中，使所述液滴的着落位置在所述基板的表面上移动的同时，在同一站内实施着落所述液滴的工序和使所述薄膜材料的表层部固化的工序二者。