集成微透镜阵列的背照式紫外焦平面探测器

摘要

本专利公开了一种集成微透镜阵列的背照式紫外焦平面探测器。背照式紫外焦平面探测器由以下几个部分组成：紫外光敏元阵列芯片、读出电路、混成互连铟柱、微透镜阵列。微透镜阵列在紫外光敏元阵列芯片的宝石片衬底上采用光刻胶光刻、高温成型、等离子体刻蚀等步骤加工形成。本专利的优点是：集成微透镜阵列之后，紫外光敏元的面积可以大幅度减少，从而使紫外光敏元具有高的零偏压动态电阻R₀和小的结电容，从而有利于减小读出电路的噪声以及提高紫外探测器的探测率。

主权项

一种集成微透镜阵列的背照式紫外焦平面探测器，包括紫外光敏元阵列芯片(1)、读出电路(2)、混成互连铟柱(3)、微透镜阵列(4)，宝石片衬底(5)，其特征是：紫外光敏元阵列芯片(1)通过混成互连铟柱(3)和读出电路(2)连接，微透镜阵列(4)集成在紫外光敏元阵列芯片(1)的宝石片衬底(5)上的紫外辐照入射面上；所述的紫外光敏元是pn结二极管、p‑i‑n结二极管、肖特基结二极管、多量子阱二极管或雪崩二极管。