面板湿制程排气装置

摘要

本发明提供一种面板湿制程排气装置，包括水洗单元、排气风机、排气主管以及第一排气支管，所述排气主管和所述第一排气支管相互连通形成排气管路，所述第一排气支管的进气口与所述水洗单元连接，所述排气主管的出气口与所述排气风机连接，所述第一排气支管的进气口固定在所述水洗单元的底面上，所述第一排气支管的进气口与所述水洗单元的内部空间相通，所述第一排气支管的进气口处设有第一防水盖板，以防止药液或水进入所述排气管路，在所述排气风机的作用下，所述水洗单元中的水汽经由所述排气管路排出。根据本发明可以有效节省排气管道的占用空间，而且布局更加紧凑美观。

主权项

一种面板湿制程排气装置，包括水洗单元、排气风机、排气主管以及第一排气支管，所述排气主管和所述第一排气支管相互连通形成排气管路，所述第一排气支管的进气口与所述水洗单元连接，所述排气主管的出气口与所述排气风机连接，其特征在于，所述第一排气支管的进气口固定在所述水洗单元的底面上，所述第一排气支管的进气口与所述水洗单元的内部空间相通，所述第一排气支管的进气口处设有第一防水盖板，以防止药液或水进入所述排气管路，在所述排气风机的作用下，所述水洗单元中的水汽经由所述排气管路排出。