| 发明名称 | 镀膜装置 | ||
| 摘要 | 一种镀膜装置，包含镀膜腔室、载台、多个高频振动元件以及至少一控制单元。载台配置于镀膜腔室内，且载台用以盛放基材。多个高频振动元件配置于载台内，其中高频振动元件的振动频率大于20千赫(kHz)。控制单元电性连接至少一个高频振动元件，且控制单元用以控制至少一个高频振动元件的振动频率、振动波形与振动大小，以改善基材的镀膜的均匀度。 | ||
| 申请公布号 | CN104947049A | 申请公布日期 | 2015.09.30 |
| 申请号 | CN201510250366.9 | 申请日期 | 2015.05.14 |
| 申请人 | 宁波时代全芯科技有限公司;英属维京群岛商时代全芯科技有限公司 | 发明人 | 吴孝哲 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人 | 徐金国 |
| 主权项 | 一种镀膜装置，其特征在于，用以在一基材上进行镀膜，该镀膜装置包含：一镀膜腔室；一载台，配置于该镀膜腔室内，该载台用以盛放该基材；多个高频振动元件，配置于该载台内，其中所述高频振动元件的振动频率大于20千赫；以及至少一控制单元，电性连接至少一个所述高频振动元件，该控制单元用以控制至少一个所述高频振动元件的振动频率、振动波形与振动大小。 | ||
| 地址 | 315195 浙江省宁波市鄞州工业园区(鄞州区姜山镇新张俞村) | ||