一种适合各尺寸衬底外延并提升外延片均匀性的石墨托盘

摘要

一种适合各尺寸衬底外延并提升外延片均匀性的石墨托盘，包括大石墨盘、小石墨盘和交叉支架，大石墨盘的中心设置有大连接柱，大连接柱上连接有交叉支架，交叉支架上以交叉点为中心在每个分支上均匀设置有小连接柱，每个小连接柱上连接一个小石墨盘，大石墨盘和每个小石墨盘上均分布有衬底槽。该石墨托盘通过在大石墨盘和小石墨盘上设置不同尺寸的衬底槽，适合各尺寸衬底外延；大石墨盘和小石墨盘通过特定尺寸的交叉支架、柱、凹槽的配合，可以设置不同的转速，来匹配不同尺寸衬底的外延，进一步提高外延片波长一致性和均匀性。通过进一步优化小石墨盘背面圆柱形凹槽的大小，可以调整小石墨盘中心片的温度，进一步提高外延片质量。

主权项

一种适合各尺寸衬底外延并提升外延片均匀性的石墨托盘，包括大石墨盘、小石墨盘和交叉支架，其特征是，大石墨盘的中心设置有大连接柱，大连接柱上连接有交叉支架，交叉支架上以交叉点为中心在每个分支上均匀设置有小连接柱，每个小连接柱上连接一个小石墨盘，大石墨盘和每个小石墨盘上均分布有衬底槽。