干涉式光学检测系统

摘要

本实用新型涉及一种干涉式光学检测系统，主要包括光源(1)、第一光阑(2)、第一透镜(3)、分光镜(4)、第二透镜(5)、第二光阑(6)、电荷耦合器件(7)和反射镜(8)，所述第一透镜(3)设置在光源(1)的光线出射方向，分光镜(4)设置在第一透镜(3)后方，第二透镜(5)的法线方向与第一透镜(3)的法线方向相互垂直，所述电荷耦合器件(7)设置在第二透镜(5)的后侧，所述反射镜(8)设置在分光镜(4)的后侧。本实用新型提供的干涉式光学检测系统通过设置结构来对光线进行干涉，将被检测面处放置焦平面阵列，来实现红外图像的探测，实现了微悬臂梁的旋转大小与干涉条纹的分布有关，从而提高了精度。

主权项

一种干涉式光学检测系统，其特征在于：所述干涉式光学检测系统主要包括光源(1)、第一光阑(2)、第一透镜(3)、分光镜(4)、第二透镜(5)、第二光阑(6)、电荷耦合器件(7)和反射镜(8)，所述第一透镜(3)设置在光源(1)的光线出射方向，分光镜(4)设置在第一透镜(3)后方，第二透镜(5)的法线方向与第一透镜(3)的法线方向相互垂直，所述电荷耦合器件(7)设置在第二透镜(5)的后侧，所述反射镜(8)设置在分光镜(4)的后侧。