发明名称 流体传送装置
摘要 本实用新型公开了一种流体传送装置,其包括承载板,其上开设有若干个通孔,所述通孔包括第一圆形通孔和第二方形通孔,所述第一圆形通孔和第二方形通孔相连通;电子控制阀,其包括第一阀部和第二阀部,所述第一阀部的形状与所述承载板的第一圆形通孔相对应,所述第二阀部的形状与所述承载板的第二方形通孔相对应;托板,其固定于所述电子控制阀的第二阀部上,所述电子控制阀的第一阀部伸出所述第一圆形通孔,第二阀部及托板卡入所述第二方形通孔中。与现有技术相比,本实用新型在所述电子控制阀的第二阀部的下方设置托板,可以牢固的将所述电子控制阀卡入所述承载板上,并且易于拆卸。
申请公布号 CN204680658U 申请公布日期 2015.09.30
申请号 CN201520417871.3 申请日期 2015.06.16
申请人 无锡华瑛微电子技术有限公司 发明人 温子瑛;王吉
分类号 H01L21/677(2006.01)I 主分类号 H01L21/677(2006.01)I
代理机构 无锡互维知识产权代理有限公司 32236 代理人 庞聪雅
主权项 一种流体传送装置,其特征在于,其包括:承载板,其上开设有若干个通孔,所述通孔包括第一圆形通孔和第二方形通孔,所述第一圆形通孔和第二方形通孔相连通;电子控制阀,其包括第一阀部和第二阀部,所述第一阀部的形状与所述承载板的第一圆形通孔相对应,所述第二阀部的形状与所述承载板的第二方形通孔相对应;托板,其固定于所述电子控制阀的第二阀部上,所述电子控制阀的第一阀部伸出所述第一圆形通孔,第二阀部及托板卡入所述第二方形通孔中。
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