发明名称 |
流体传送装置 |
摘要 |
本实用新型公开了一种流体传送装置,其包括承载板,其上开设有若干个通孔,所述通孔包括第一圆形通孔和第二方形通孔,所述第一圆形通孔和第二方形通孔相连通;电子控制阀,其包括第一阀部和第二阀部,所述第一阀部的形状与所述承载板的第一圆形通孔相对应,所述第二阀部的形状与所述承载板的第二方形通孔相对应;托板,其固定于所述电子控制阀的第二阀部上,所述电子控制阀的第一阀部伸出所述第一圆形通孔,第二阀部及托板卡入所述第二方形通孔中。与现有技术相比,本实用新型在所述电子控制阀的第二阀部的下方设置托板,可以牢固的将所述电子控制阀卡入所述承载板上,并且易于拆卸。 |
申请公布号 |
CN204680658U |
申请公布日期 |
2015.09.30 |
申请号 |
CN201520417871.3 |
申请日期 |
2015.06.16 |
申请人 |
无锡华瑛微电子技术有限公司 |
发明人 |
温子瑛;王吉 |
分类号 |
H01L21/677(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/677(2006.01)I |
代理机构 |
无锡互维知识产权代理有限公司 32236 |
代理人 |
庞聪雅 |
主权项 |
一种流体传送装置,其特征在于,其包括:承载板,其上开设有若干个通孔,所述通孔包括第一圆形通孔和第二方形通孔,所述第一圆形通孔和第二方形通孔相连通;电子控制阀,其包括第一阀部和第二阀部,所述第一阀部的形状与所述承载板的第一圆形通孔相对应,所述第二阀部的形状与所述承载板的第二方形通孔相对应;托板,其固定于所述电子控制阀的第二阀部上,所述电子控制阀的第一阀部伸出所述第一圆形通孔,第二阀部及托板卡入所述第二方形通孔中。 |
地址 |
214135 江苏省无锡市新区震泽路18号国家软件园3期鲸鱼座A栋1楼 |