一种压力传感器及其制备方法

摘要

本申请提供了一种压力传感器的制备方法，首先将氧化石墨烯溶液滴于衬底上，晾干后得到氧化石墨烯薄膜；再采用激光在氧化石墨烯薄膜上分别进行光刻，得到激光还原氧化石墨烯叉指电极层和激光还原氧化石墨烯导电层；最后将所述激光还原氧化石墨烯叉指电极层与所述激光还原氧化石墨烯导电层分别切割下来，将所述激光还原氧化石墨烯叉指电极层的叉指部分与激光还原氧化石墨烯的导电层交叠放置，得到压力传感器。本申请还提供了压力传感器，包括：激光还原氧化石墨烯叉指电极层和激光还原氧化石墨烯导电层，所述激光还原氧化石墨烯叉指电极层的叉指部分设置有激光还原氧化石墨烯导电层。本申请的压力传感器能够检测1kPa以下的压力，且灵敏度高。

主权项

一种压力传感器的制备方法，包括以下步骤：将氧化石墨烯溶液滴于衬底上，晾干后得到氧化石墨烯薄膜；采用激光在氧化石墨烯薄膜上分别进行光刻，得到激光还原氧化石墨烯叉指电极层和激光还原氧化石墨烯导电层；将所述激光还原氧化石墨烯叉指电极层与所述激光还原氧化石墨烯导电层分别切割下来，再将所述激光还原氧化石墨烯叉指电极层的叉指部分与激光还原氧化石墨烯的导电层交叠放置，得到压力传感器。