一种宽带宽导模共振滤光器

摘要

本发明涉及一种宽带宽导模共振滤光器，包括从上到下依次由覆盖层、光栅层和基底层组成的导模共振滤波器，在光栅层的每一个周期光栅上加上一层Z字型的金属线光栅，光栅层厚度、光栅周期、占空比不变，基底层厚度不变，覆盖层厚度变薄，整个导模共振滤波器大小不变，形成宽带宽导模共振滤光器，结构比较简单，制作工艺也较为简单，不需要通过刻蚀等步骤，并且能够简单地通过加上一层线光栅结构来拓宽其工作带宽，具有流程简单，结构灵活的特点。

主权项

一种宽带宽导模共振滤光器，包括从上到下依次由覆盖层、光栅层和基底层组成的导模共振滤波器，其特征在于，在光栅层的每一个周期光栅上加上一层Z字型的金属线光栅，光栅层厚度、光栅周期、占空比不变，基底层厚度不变，覆盖层厚度变薄，整个导模共振滤波器大小不变，形成宽带宽导模共振滤光器。