一种用于制备胶体晶体的模板及制作该模板的工艺方法

摘要

本发明公开了一种用于制备胶体晶体的模板，包括制绒后的硅片作为基板，通过将浆料丝网印刷在所述基板上形成长条形纹路而构成模板，所述纹路在所述基板上呈间隔并列排布以使胶粒被围括在各相邻的纹路之间。还公开了制作上述模板的工艺方法。本发明可实现该模板快速、稳定地生产，使得制备胶体晶体可采用工业化生产，以达到大规模、批量生产的目的，为需要规则化图形的半导体生产提供了基本便利条件；使用本发明制备的胶体晶体，具有胶体晶体覆盖面积大、缺陷数量少、阵列方向可控及厚度容易控制等优点；另外，实现本发明工艺方法的设备采用现有的丝网印刷设备改造而成，制作成本低，生产效率高，碎片率低。

主权项

一种制作用于制备胶体晶体模板的工艺方法，其特征在于包括以下步骤：⑴确定网版图形：网版图形为间隔并列排布的长条形纹路，相邻纹路间距为100～200μm，纹路的宽度为30～70μm；⑵制作网版，所述网版的丝网厚度为10～30μm、目数为290～400目；⑶将网版安装在丝网印刷设备中，光电对准后，在网版的上表面涂布浆料，调试丝网印刷设备的运行参数；⑷以制绒后的硅片作为基板放置在网版的下方，开启丝网印刷设备，丝网印刷在基板上形成间隔并列排布的长条形纹路，得到模板半成品；⑸加热由步骤⑷所得模板半成品直至长条形纹路定型固化；⑹获得模板成品。