一种粗精动叠层工作台

摘要

一种粗精动叠层工作台，主要应用于半导体光刻设备中。本发明含有精动台在水平面内X方向、Y方向和绕Z轴旋转的第一种电磁力驱动模块和精动台沿Z方向、绕X轴旋转和绕Y轴旋转的第二种电磁力驱动模块；第一种电磁力驱动模块和第二种电磁力驱动模块均采用四组，四组第一种电磁力驱动模块和四组第二种电磁力驱动模块相间布置。第一种电磁力驱动模块的永磁体、轭铁和永磁体骨架及四组第二种电磁力驱动模块的永磁体、永磁体骨架共同组成精动台的动子部分；四组第一种电磁力驱动模块和四组第二种电磁力驱动模块的线圈和线圈骨架及微动台基座共同组成精动台的定子部分。本发明具有结构更加简单、紧凑、质心驱动和微动台动子惯量小等特点。

主权项

一种粗精动叠层工作台，含有一个精动台和一个粗动台，其特征在于：所述的叠层工作台还包含一个平衡块(2)和四个隔震器(5)；所述的粗动台含有一个粗动台骨架(3)、四个动铁式电磁力驱动模块和四个气浮轴承(4)；所述的精动台设置在粗动台骨架(3)的中间位置，精动台定子骨架(10)与粗动台骨架(3)连接在一起，所述的四个气浮轴承(4)设置在粗动台骨架(3)的四角，并与平衡块(2)上表面形成气膜，支撑粗动台动子部分沿平衡块(2)上表面运动；平衡块(2)的下方四个角上布置四个隔震器(5)；其中两个动铁式电磁力驱动模块沿X轴方向布置在粗动台的中心线上，并关于Y轴对称布置，另外两个动铁式电磁力驱动模块沿Y轴方向布置在粗动台的中心线上，并关于X轴对称布置；每一个动铁式电磁力驱动模块包括永磁体组件和长线圈组件两部分，永磁体组件由主永磁体、附永磁体以及永磁体骨架组成，主永磁体与附永磁体以Halbach阵列形式粘接固定于永磁体骨架的表面上，相邻的主永磁体与附永磁体的磁场方向相互垂直，在各永磁体之间形成封闭磁路，该永磁体组件通过永磁体骨架固定在粗动台骨架(3)的底面，并沿粗动台骨架(3)的边缘方向放置；每一个长线圈组件由至少三个加长矩形线圈并排水平放置在平衡块(2)的深槽中，且长线圈组件与对应永磁体组件留有间隙；所述的粗动台骨架(3)和动铁式电磁力驱动模块的永磁体骨架(11)采用碳纤维加铝蜂窝材料加工而成。