埋入式电阻合金材料、埋入式电阻薄膜及其制备方法

摘要

本发明涉及一种埋入式电阻合金材料、埋入式电阻薄膜及其制备方法。该埋入式电阻合金材料按质量百分比计，包括镍80～97%、钼0.1～8%和磷2～12%。将该埋入式合金材料制成埋入式电阻薄膜，经实验表明，该埋入式电阻薄膜具有较好的耐蚀性、热稳定性和抗老化性能。

主权项

一种埋入式电阻薄膜的制备方法，包括如下步骤：提供衬底，将所述衬底进行活化；及将活化后的所述衬底放入化学镀液中进行镀膜，在所述衬底的表面上形成埋入式电阻薄膜，所述埋入式电阻薄膜的元素按质量百分比计，包括镍80～97％、钼0.1～8％和磷2～12％；所述将所述衬底进行活化的步骤为将所述衬底放入温度为20℃～60℃的活化剂中浸泡1分钟～10分钟；每升所述活化剂包含：硫酸锌20～120克、DL‑苹果酸钠10～50克和锌粉5～30克；每升所述化学镀液包含：硫酸镍5～80克、次亚磷酸钠5～80克、钼酸钠0.1～10克、缓冲剂10～80克、稳定剂1～5毫克和络合剂10～80克。