发明名称 一种喷吹蚀刻装置
摘要 本实用新型公开了一种喷吹蚀刻装置,它包括喷淋组件(1)、传动轨道(2)和风嘴(3),以电路板传送方向为横向,所述的喷淋组件(1)横向等间距设置在传送轨道(2)上方,且每一个喷淋组件(1)的前方对应设置有一风嘴(3),所述的喷淋组件(1)由一个第一喷淋管(4)和两个第二喷淋管(5)组成,所述的第二喷淋管(5)位于第一喷淋管(1)纵向的两侧,且第一喷淋管(4)和第二喷淋管(5)上均设置有一阀门(6)。本实用新型的有益效果是:它具有结构简单、蚀刻效率高和蚀刻质量好的优点。
申请公布号 CN204676154U 申请公布日期 2015.09.30
申请号 CN201520391898.X 申请日期 2015.06.09
申请人 成都虹华环保科技股份有限公司 发明人 韦建敏;赵兴文;张晓蓓;张小波
分类号 C23F1/08(2006.01)I 主分类号 C23F1/08(2006.01)I
代理机构 成都金英专利代理事务所(普通合伙) 51218 代理人 袁英
主权项 一种喷吹蚀刻装置,其特征在于:它包括喷淋组件(1)、传动轨道(2)和风嘴(3),以电路板传送方向为横向,所述的喷淋组件(1)横向等间距设置在传送轨道(2)上方,且每一个喷淋组件(1)的前方对应设置有一风嘴(3),所述的喷淋组件(1)由一个第一喷淋管(4)和两个第二喷淋管(5)组成,所述的第二喷淋管(5)位于第一喷淋管(4)纵向的两侧,且第一喷淋管(4)和第二喷淋管(5)上均设置有一阀门(6)。
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