一种BMN陶瓷靶材的制备方法

摘要

本发明公开了一种BMN陶瓷靶材的制备方法，属于陶瓷靶材制备领域。本发明方法包括步骤一：BMN粉体的制备；步骤二：生坯的制备；步骤三：靶材的烧结，得到所需的靶材。本发明方法制备的BMN陶瓷靶材具有结构致密、性能优良的优点，制备的BMN陶瓷靶材结构致密，气孔较少，晶粒规整，大小约为2～5μm，靶材的组分化学式为Bi_1.48MgNb_1.5O_6.97，其相对密度达到最大值97.03wt％，并且介电性能优异，1MHz下的介电常数为170.4，介电损耗为6.25×10^-4。

主权项

一种BMN陶瓷靶材的制备方法，其特征在于，具有如下步骤：步骤一：BMN粉体的制备以Bi₂O₃，MgO和Nb₂O₅粉末为起始原料，摩尔比为1.65:1:1.5，以无水乙醇为介质球磨6～10h，将物料于80～100℃恒温干燥箱中干燥；将混合好的物料在空气或氧气气氛中预烧，温度为700～900℃，保温1～4h，然后自然降温至室温，得到BMN粉体；步骤二：生坯的制备将所述步骤一制得的BMN粉体进行二次球磨6～10h，于80～100℃恒温干燥箱中干燥，后研磨并过筛，添加粘合剂造粒；将造粒好的粉料单轴压制成型，制成直径为65mm厚为6mm的BMN生坯，压力为10MPa；步骤三：靶材的烧结将成型的BMN陶瓷在500～700℃保温40～50h脱胶，升温时间为10～15h，之后在氧气气氛中1000～1100℃烧结，保温2～10h，得到所需的靶材。