发明名称 一种二极管链触发的栅控PIN结静电放电保护器件
摘要 本发明涉及集成电路的静电放电保护技术领域,尤其涉及一种二极管链触发的栅控PIN结静电放电保护器件。该静电放电保护器件包括P型衬底、n个N型阱区以及栅控PIN结,其中,n为常数;n个N型阱区以及栅控PIN结形成于P型衬底上;n个N型阱区连接有输入端,栅控PIN结设置于n个N型阱区连接输入端的一侧;第二N+掺杂区形成于栅控PIN结与n个N型阱区之间,第一N+掺杂区形成于栅控PIN结的另一侧,第一P+掺杂区形成于第一N+掺杂区之上;n个N型阱区中P+掺杂区与N+掺杂区具有相同的相对位置关系。本发明提供的二极管链触发的栅控PIN结静电放电保护器件在不增加漏电的基础上,能够有效调节触发电压以满足不同I/O的需求。
申请公布号 CN104952868A 申请公布日期 2015.09.30
申请号 CN201510037402.3 申请日期 2015.01.23
申请人 北京大学 发明人 王源;张立忠;陆光易;曹健;张兴
分类号 H01L27/02(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I 主分类号 H01L27/02(2006.01)I
代理机构 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人 李相雨
主权项 一种二极管链触发的栅控PIN结静电放电保护器件,其特征在于,包括:P型衬底、n个N型阱区以及栅控PIN结,其中,n为常数;所述n个N型阱区以及所述栅控PIN结形成于所述P型衬底上;所述n个N型阱区连接有输入端,所述栅控PIN结设置于所述n个N型阱区连接所述输入端的一侧;第二N+掺杂区形成于所述栅控PIN结与所述n个N型阱区之间,第一N+掺杂区形成于所述栅控PIN结的另一侧,第一P+掺杂区形成于所述第一N+掺杂区之上;所述n个N型阱区中P+掺杂区与N+掺杂区具有相同的相对位置关系。
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