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发明名称 APPARATUS FOR MEASURING TOTAL PRESSURE AND PARTIAL PRESSURE WITH COMMON ELECTRON BEAM
摘要
申请公布号 EP1508154(B1) 申请公布日期 2015.09.30
申请号 EP20020756087 申请日期 2002.05.28
申请人 INFICON, INC. 发明人 ELLEFSON, ROBERT, E.;FREES, LOUIS, C.
分类号 H01J41/04;H01J49/14;H01J49/02 主分类号 H01J41/04
代理机构 代理人
主权项
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