工业用机械

摘要

本发明提供一种工业用机械，该工业用机械是三维测量机(1)，其包括：沿着Z轴的立柱(221)以及支柱(225)；滑动件(223)，其能够在被设在该立柱与支柱之间的梁(222)上移动；杆件(224)，其能够沿着Z轴方向移动地被保持在滑动件上；温度检测传感器(226)以及温度检测部(32)，该温度检测传感器以及温度检测部用于对立柱(221)、支柱(225)、杆件(224)的各自的温度进行检测；偏移量算出部(33)，其根据上述的立柱(221)、支柱、杆件的各自的温度、表示上述的立柱、支柱、杆件的在基准温度条件下的位置关系的基准位置数据、上述的立柱、支柱、杆件的各自的热膨胀系数算出上述Z轴偏移量。

主权项

一种工业用机械，该工业用机械的特征在于，其包括：立柱以及支柱，该立柱以及支柱被沿着与台面正交的Z轴竖立设置；滑动件，其能够在被设在上述的立柱以及支柱之间的梁上移动；杆件，其能够沿着Z轴方向移动地被保持在上述滑动件上；温度检测部件，其用于对上述立柱的温度T_c、上述支柱的温度T_s、上述杆件的温度T_r进行检测；Z轴标尺，其被设在上述杆件上，设有用于测量上述杆件的沿着Z轴方向的移动量的刻度；Z检测部，其被设在上述滑动件上，用于检测上述Z轴标尺的刻度；以及偏移量算出部件，其根据上述立柱、上述支柱、上述杆件的温度变化算出上述杆件的沿着Z轴方向的Z轴偏移量，上述偏移量算出部件根据被上述温度检测部件检测到的上述立柱的温度T_c、被上述温度检测部件检测到的上述支柱的温度T_s、被上述温度检测部件检测到的上述杆件的温度T_r、基准位置数据、校正系数、以及上述滑动件的位置坐标x算出上述Z轴偏移量，该基准位置数据表示上述立柱、上述支柱、上述杆件的在将上述立柱、上述支柱、上述杆件的温度设定为规定的基准温度的状态下的位置关系，该校正系数用于算出上述立柱、上述支柱、上述杆件的由温度变化引起的沿着Z轴方向的尺寸变动量ΔC、ΔS、ΔZ，上述基准位置数据包括：从上述台面到上述Z检测部的在基准温度条件下的距离L₁、从上述杆件的与上述台面相对的顶端部到上述杆件的固定Z轴标尺的位置的在基准温度条件下的距离L₂、从上述立柱的中心轴线到上述滑动件的中心轴线的使上述滑动件最接近上述立柱时的距离X₀、从上述支柱的中心轴线到上述滑动件的中心轴线的使上述滑动件最接近上述支柱的状态时的距离X₁、上述滑动件的能够沿着X轴方向移动的距离X₂，上述校正系数包括：上述立柱的热膨胀系数α_c、上述支柱的热膨胀系数α_s、上述杆件的热膨胀系数α_r，上述偏移量算出部件利用以下算式算出上述Z轴偏移量，(Z轴偏移量)＝(X₀+x)³×(ΔS‑ΔC)/(X₀+X₁+X₂)³+ΔC‑ΔZ其中，ΔC＝(T_c‑T₀)×L₁×α_c，ΔS＝(T_s‑T₀)×L₁×α_s，ΔZ＝(T_r‑T₀)×L₂×α_r，T₀：基准温度。