发明名称 一种上下分布式双工件台装置
摘要 一种上下分布式双工件台装置,其包括设有一凸台的基座,所述凸台上设有一第一水平导轨与一支撑架,支撑架上设有第二水平导轨,该第二水平导轨平行并位于所述第一水平导轨上端;所述两水平导轨分别连接有第一水平滑座、第二水平滑座,所述第一水平滑座、第二水平滑座分别沿所述两水平导轨分别具有一相同的水平滑动行程;第一水平滑座、第二水平滑座分别固定连接有一第一L形支架、第二L形支架,所述两L形支架分别设有竖向滑座,所述两竖向滑座分别通过支撑台设置工作台。本发明的两个工作台通过水平导轨、竖直导轨交换各自位置,在不同位置完成不同的工序,并通过交换位置完成工序的交换,实现了PCB板曝光与装卸的同时进行,增加了曝光效率。
申请公布号 CN104950598A 申请公布日期 2015.09.30
申请号 CN201510398828.1 申请日期 2015.07.07
申请人 合肥芯硕半导体有限公司 发明人 项宗齐
分类号 G03F7/20(2006.01)I 主分类号 G03F7/20(2006.01)I
代理机构 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 代理人 胡剑辉
主权项 一种上下分布式双工件台装置,其特征在于,包括基座,所述基座上设有一凸台,所述凸台上设有一第一水平导轨与一支撑架,所述支撑架上设有第二水平导轨,所述第二水平导轨平行并位于所述第一水平导轨上端;所述第一水平导轨、第二水平导轨分别连接有第一水平滑座、第二水平滑座,所述第一水平滑座、第二水平滑座分别沿所述两水平导轨分别具有一相同的水平滑动行程;所述第一水平滑座、第二水平滑座分别固定连接有一第一L形支架、第二L形支架,所述两L形支架分别具有一水平杆与竖向杆,所述两水平杆与基座平行并分别连接在两水平滑座上,所述两竖向杆位于两侧并向上设置;所述第一L形支架、第二L形支架的竖向杆分别连接有竖向导轨,所述两竖向导轨上分别设有竖向滑座,所述两竖向滑座分别连接有支撑台,所述两支撑台上分别设有工作台;与第一水平滑座连接的为第一工作台,与第二水平滑座连接的为第二工作台,所述两工作台分别与所述底座平行,所述两工作台之间具有一平行间距,所述两工作台可分别平行移动至对方所在的平面。
地址 230000 安徽省合肥市经济技术开发区锦绣大道北、习友路东