一种降低成膜腔室中微粒杂质的方法及装置

摘要

本发明公开了一种降低成膜腔室中微粒杂质的方法及装置，其中方法包括：对玻璃进行表面活化，将玻璃置于成膜腔室中，通过玻璃吸附成膜腔室中的微粒杂质，将吸附有微粒杂质的玻璃从成膜腔室中取出。通过上述方式，本发明可降低液晶工艺中的PVD或CVD制程中成膜腔室中的微粒杂质，避免由于微粒杂质导致的成膜后膜层损伤、膜脱、器件失效等缺陷，降低因为微粒杂质造成的产品良率损失。

主权项

一种降低成膜腔室中微粒杂质的方法，其特征在于，所述方法包括：对玻璃进行表面活化；将所述玻璃置于所述成膜腔室中；通过所述玻璃吸附所述成膜腔室中的所述微粒杂质；将吸附有所述微粒杂质的所述玻璃从所述成膜腔室中取出。