工艺过程中设备离线检测的方法及系统

摘要

本发明公开了一种工艺过程中设备离线检测的方法及系统。其中该方法包括如下步骤：工艺加工过程中，检测当前工艺步骤中预设检测设备是否离线，得到检测结果；根据检测结果，当预设检测设备中存在离线设备时，抛出设备离线报警；根据检测结果，当预设设备中不存在离线设备时，返回执行检测预设检测设备是否离线的步骤，直至达到预设终止条件。其可及时发现设备离线的状况，并提醒工艺加工人员进行处理，提高工艺加工的生产效率，同时减小设备离线时继续进行工艺加工造成的工艺气体、晶片等资源的浪费。

主权项

一种工艺过程中设备离线检测的方法，其特征在于，包括以下步骤：工艺加工过程中，检测当前工艺步骤中预设检测设备是否离线，得到检测结果；根据所述检测结果，当所述预设检测设备中存在离线设备时，抛出设备离线报警；根据所述检测结果，当所述预设设备中不存在离线设备时，返回执行检测预设检测设备是否离线的步骤，直至达到预设终止条件。