发明名称 用于制造OLED发光装置的设备和方法
摘要 用于在衬底的第一区域上沉积OLED发光装置的一个或多个有机材料层以及在第二区域上沉积一个或多个导电层的设备,其中导电层部分地或完全地覆盖并且延伸超过有机层的一边,包括:与衬底接触的可重复使用的掩模,至少一个掩模开放区域具有悬伸特征。
申请公布号 CN104956509A 申请公布日期 2015.09.30
申请号 CN201480004259.1 申请日期 2014.01.08
申请人 OLED沃克斯有限责任公司 发明人 约翰·W·哈默尔;迈克尔·L·保罗森
分类号 H01L51/40(2006.01)I 主分类号 H01L51/40(2006.01)I
代理机构 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 代理人 王达佐;刘铮
主权项 一种用于在衬底的第一区域上沉积OLED发光装置的一个或多个有机材料层以及在第二区域上沉积所述OLED发光装置的一个或多个导电层的设备,其中所述一个或多个导电层部分地或完全地覆盖所述一个或多个有机层并且还延伸超出所述一个或多个有机层的一侧,所述设备包括:a)可重复使用的掩模,具有一个或多个开放区域,定位成且保持与所述衬底接触但不与所述衬底结合,其中至少一个掩模开放区域的一个边缘构造成具有悬伸特征;b)一个或多个汽化有机材料羽流源,其中所述一个或多个汽化有机材料羽流源提供具有选择的固有羽流形状的汽化有机材料并且所述固有羽流形状具有固有截止角,以使得所述固有截止角限定关于所述蒸汽羽流中心线的、包括蒸汽总通量90%的区域,并且一个或多个有机材料被选为在所述衬底上形成所述OLED发光装置的一个或多个层,并且所述汽化有机材料羽流在所述汽化有机材料羽流的与所述掩模开放区域的所述悬伸特征对应的侧部上成形为将所述侧部上的有机材料至所述衬底的所述第一区域的实质传输限制至小于或等于选择的截止角的角度,其中所述截止角相对于所述衬底的表面的法线;以及c)一个或多个汽化导电材料羽流源,将导电材料传输至所述衬底的所述第二区域,其中所述一个或多个汽化导电材料羽流源提供具有与所述汽化有机材料的固有羽流形状基本相同的固有羽流形状的汽化导电材料,所述汽化导电材料的固有羽流形状具有与所述汽化有机材料基本相同的固有截止角,并且所述第二区域与所述第一区域部分地或完全地重叠并且在所述第一区域的与所述掩模的所述悬伸特征相对应的侧部还延伸超出所述第一区域。
地址 美国纽约州