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Capteur de mesure de pression différentielle MEMS et/ou NEMS comportant au moins une première membrane (4) et au moins une deuxième membrane (6), chacune (4, 6) suspendue à un substrat (2), la première membrane (4) ayant une face (4.1) soumise à une pression de référence et une deuxième face (4.2) soumise à une première pression à détecter, la deuxième membrane (6) ayant une première face (6.1) soumise à la pression de référence et une deuxième face (6.2) soumise à une deuxième pression à détecter, une poutre rigide (8) d'axe longitudinal (X) articulée par rapport au substrat par une liaison pivot autour d'un axe (Y), ladite poutre (8) étant solidarisée par une première zone à la première membrane (4) et par une deuxième zone à la deuxième membrane (6) de sorte que la liaison pivot se situe entre la première zone et la deuxième zone de la poutre (8), des moyens de mesure du déplacement de la poutre (8) autour de l'axe (Y), lesdits moyens de mesure étant disposés au moins en partie sur le substrat. |
