Piezoelektrischer Vielschichtaktor und Verfahren zu seiner Herstellung

摘要

Piezoelektrischer Vielschichtaktor (1), der die folgenden Merkmale aufweist: a. eine Schichtstruktur (3) bestehend aus einer abwechselnden Anordnung einer Mehrzahl Piezoelektrischer Schichten (10) und einer Mehrzahl von Elektroden (20), in der die Elektroden (20) und die piezoelektrischen Schichten (10) annähernd den gleichen Flächeninhalt aufweisen, b. eine Isolationsstruktur (30), die derart ausgebildet ist, dass eine Seitenfläche (22) jeder zweiten zu kontaktierenden Elektrode (20) in einer Senke (50) angeordnet ist, wobei die benachbarten Seitenflächen (24) der nicht zu kontaktierenden Elektroden (20) elektrisch isolierend abgedeckt sind, und c. eine gradierte Elektrode (60), die die Seitenflächen (22) der zu kontaktierenden Elektroden (20) miteinander verbindet, wobei die gradierte Elektrode (60) innerhalb der Senken (50) im Vergleich zu Bereichen außerhalb der Senken (50) eine unterschiedliche elektrische Leitfähigkeit und/oder unterschiedliche mechanische Eigenschaften aufweist, wobei die gradierte Elektrode (60) sich aus einem Trägermaterial (66) mit leitfähigen Partikeln (62, 64) zusammensetzt, wobei mindestens zwei Gruppen unterschiedlich geformter Partikel (62, 64) zwei Bereiche unterschiedlicher elektrischer Leitfähigkeit und/oder unterschiedlicher mechanischer Eigenschaften innerhalb der gradierten Elektrode (60) bilden, dadurch gekennzeichnet, dass die gradierte Elektrode (60) kugelförmige Partikel (64) und plättchenförmige Partikel (62) als leitfähige Partikel aufweist, wobei die kugelförmigen Partikel (64) innerhalb der Senken (50) der Isolationsstruktur (30) und die plättchenförmigen Partikel (62) in Bereichen außerhalb der Senken (50) der Isolationsstruktur (30) angeordnet sind.