| 摘要 |
【課題】製造プロセスツールからの流出ガス流を処理する改善されたバーナ用入口組立体および流出ガス堆積物低減方法を提供することにある。【解決手段】バーナ用入口組立体において、入口組立体が、入口孔および同心状に整合した出口孔を備えたマニホルドを有し、該マニホルドが、入口孔と出口孔との間で長手方向軸線に沿って延びているノズルボアを備え、該ノズルボアは、入口孔に連結できる入口パイプからの流出ガスを出口孔に搬送して前記バーナの燃焼チャンバに供給し、ノズルボア内に収容されたノズルボアスクレーパと、該ノズルボアスクレーパをノズルボアに対して往復動させるべく作動するアクチュエータとを更に有し、前記ノズルボアスクレーパは、ノズルボア内で休止位置と作動位置との間を前記長手方向軸線に沿って往復動して、ノズルボア内の流出ガス堆積物を低減させることを特徴とするバーナ用入口組立体。【選択図】図１ |
