| 摘要 |
<p>ガス混合装置の実施形態が本明細書で提示される。いくつかの実施形態では、ガス混合装置は、内部容積を画定する容器であって、閉じられた上部および底部と、上部および底部を貫く容器の中心軸に対して円形の断面を有する側壁とを有する容器と；容器の内部容積に複数のプロセスガスを供給するため、容器の上部近傍で容器に結合される複数の第１の注入口であって、複数の第１の注入口を通る複数のプロセスガスの流路が容器の側壁に対して実質的に接線方向になるように配置される複数の第１の注入口と；複数のプロセスガスが容器の内部容積から取り除かれるように、容器の底部近傍で容器に結合される排出口と、を含んでもよい。【選択図】図１</p> |
