マイクロ電気機械システムおよびマイクロ電気機械システムの使用

摘要

マイクロ電気機械システム（ＭＥＭＳ）において可動質量体の変位を測定する方法は、２つの変位停止表面に向かって質量体を駆動することと、櫛歯のような感知キャパシタの対応する差動容量を測定することと、を含む。変位停止表面を有するＭＥＭＳ装置が記述される。このようなＭＥＭＳ装置は、片持ち梁とたわみセンサとを有する原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）の性質を測定する方法において、または、変位軸に沿って振動することを可能にされた可動質量体を感知する変位感知ユニットを有する温度センサにおいて、使用できる。動き測定装置は、位相が９０?ずれて駆動される加速度計およびジャイロスコープのペアを含むことができる。