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<p>전자빔을 방사하는 전자총, 전자총에서 방사된 전자빔을 이용하여 진공상태에서 모재에 용접 또는 접합을 하고 용접 및 접합된 모재를 관찰할 수 있는 용접 및 관찰챔버와, 전자총에서 방사된 전자빔을 용접 및 관찰챔버 내의 모재로 집속되도록 가이드 하는 경통부, 경통부 내에 설치되어 모재에 집속되는 전자빔에 의해 방출되는 2차 전자를 포집하여 관찰영상을 획득하는 검출기를 포함하여, 경통부는, 전자총과 용접 및 관찰챔버를 연결하는 경통 몸체와, 경통몸체에 설치되어 통과하는 전자빔의 빔 스폿을 작게 하면서 고밀도의 탐침전류를 출력할 수 있도록 전기장이 이중으로 발생하도록 하는 2중 슬릿을 가지는 대안렌즈 및, 대안렌즈를 통과하는 전자빔을 모재로 집속시켜주는 대물렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 용접 및 관찰기능을 가지는 복합장치가 게시된다.</p> |
