摘要 |
<p>Lichtraster-Mikroskop mit–einem Objektiv (16) zur Probenabbildung, wobei das Objektiv (16) eine Objektivpupille (48) aufweist,–einer dem Objektiv (16) in Abbildungsrichtung nachgeordneten Scaneinrichtung (12) zur zweiachsigen Strahlablenkung, wobei die Scaneinrichtung (12) ein erstes und ein zweites, jeweils einachsig ablenkendes Scanelement aufweist, die in Abbildungsrichtung hintereinander liegen,–einem Element (43) zur Pupillenmanipulation, das in einer der Objektivpupille (48) zugeordneten Lage angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass–das erste Scanelement (40) in der Objektivpupille (48) oder einer dazu konjugierten Pupille liegt,–dem ersten Scanelement (40) eine Relay-Optik (42) zur Abbildung der das erste Scanelement (40) enthaltenden Pupille (48) in eine zweite Pupille (49) nachgeordnet ist,–das Element (43) zur Pupillenmanipulation in der von der Relay-Optik (42) erzeugten zweiten Pupille (49) liegt und reflektiv ausgebildet ist, so dass die Relay-Optik (42) in Abbildungsrichtung nochmals durchlaufen wird und diese die zweite Pupille (49) nochmals in eine dritte Pupille (50) abbildet, wobei die Relay-Optik (42) einen Strahlumlenker (47) aufweist, der die dritte Pupille (50) von der das erste Scanelement (40) enthaltenden Pupille trennt, und–das zweite Scanelement (41) in der dritten Pupille (50) angeordnet ist.</p> |