| 摘要 |
平坦な状態および屈曲した状態のいずれの使用においても、良好な初期検知感度を発揮可能とし、かつ初期状態における短絡が防止された感圧センサ、感圧素子を備える圧力センサ、および感圧素子製造方法を提供する。感圧素子１００は、支持基板１１と、支持基板１１に支持されたセンサ電極１２と、センサ電極１２に対向する位置に少なくとも導電機能を有する感圧膜１４と、センサ電極１２および感圧膜１４を互いに離間させるための所定の距離Ａを確保するとともに感圧膜１４に対しセンサ電極１２を露出させる開口部２０を有する絶縁層１３と、を有し、絶縁層１３は、開口部２０を区画形成する開口壁面１３ｂと、感圧膜１４側の開口端部（開口上端部１３ａ）と、を有し、支持基板１１を基準として、絶縁層１３は、開口部２０に向かって高さが連続的に増大している。 |
