发明名称 |
MODULE FOR FEEDING DRYING GAS AND FOR LEADING AWAY GAS LADEN WITH VAPOR AND DEVICE FOR DRYING A SUBSTRATE |
摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Modul (M) zum Zuführen von Trocknungsgas und zum Abführen von mit Dampf beladenen feuchten Gas, mit einer Gaszuführkammer (1) mit zumindest einem ersten Anschlussstutzen (10) zum Zuführen von Trocknungsgas und einer eine Vielzahl von Durchbrüchen aufweisenden Gasverteilungsplatte (8) zum Entlassen des Trocknungsgases, und einer Gasabführkammer (2) mit zumindest einem zweiten Anschlussstutzen (11) zum Abführen des feuchten Gases und zumindest einem Gasansaugschlitz (9), wobei die Gasabführkammer (2) die Gaszuführkammer (1) zumindest abschnittsweise umgibt, so dass die Gaszuführkammer (1) und die Gasabführkammer (2) einen gemeinsamen Boden (B) eines Gehäuses (G) des Moduls (M) bilden, welcher die Gasverteilungsplatte (8) und eine Öffnung (O) des Gasansaugschlitzes (9) umfasst.</p> |
申请公布号 |
WO2015107154(A3) |
申请公布日期 |
2015.09.24 |
申请号 |
WO2015EP50785 |
申请日期 |
2015.01.16 |
申请人 |
FMP TECHNOLOGY GMBH FLUID MEASUREMENTS & PROJECTS |
发明人 |
DURST, FRANZ;SOLTANZADEH, HAMED;ZHENG, GONGYUAN;BRUNNER, THOMAS;HORMESS, VOLKER |
分类号 |
F26B3/28;F26B3/30;F26B13/10;F26B21/00 |
主分类号 |
F26B3/28 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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