| 摘要 |
Die Erfindung betrifft ein optisches Element (1), umfassend: ein Substrat (2), eine auf das Substrat (2) aufgebrachte Beschichtung (3, 9, 5), wobei die Beschichtung (3, 9, 5) umfasst: eine reflektierende Beschichtung (5b), die zur Reflexion von Strahlung (4) mit einer Nutzwellenlänge (λEUV) ausgebildet ist, sowie eine zwischen dem Substrat (2) und der reflektierenden Beschichtung (5b) angeordnete Antireflexbeschichtung (3) zur Unterdrückung der Reflexion von Heizstrahlung (7) mit einer von der Nutzwellenlänge (λEUV) verschiedenen Heizwellenlänge (λH). Die Erfindung betrifft auch eine optische Anordnung, welche mindestens ein derartiges optisches Element (1) sowie mindestens eine Einrichtung zur thermischen Manipulation des optischen Elements (1) umfasst, welche mindestens eine Heizlichtquelle (8) zur Erzeugung von Heizstrahlung (7) aufweist. |
