| 摘要 |
Messvorrichtung (40) zum Vermessen einer Beleuchtungseigenschaft eines Beleuchtungssystems (12), welches zur flächigen Bestrahlung eines in einer Beleuchtungsebene (21) angeordneten Substrats (24) mit Beleuchtungsstrahlung (20) konfiguriert ist, mit: – einem ortsauflösenden Intensitätsdetektor (42), – zwei unterschiedlichen, in der Messvorrichtung ausgebildeten Messstrahlengängen (52, 54), welche jeweils dazu konfiguriert sind, die vom Beleuchtungssystem ausgesandte Beleuchtungsstrahlung auf den Intensitätsdetektor zu leiten, wobei ein erster (52) der Messstrahlengänge zur Vermessung einer Intensitätsverteilung in der Beleuchtungsebene und der zweite (54) der Messstrahlengänge zur Vermessung einer Intensitätsverteilung in einer Pupille des Beleuchtungssystems konfiguriert ist, sowie – einer derart im ersten Messstrahlengang (52) angeordneten abbildenden Optik (44), dass die im ersten Messstrahlengang geführte Beleuchtungsstrahlung die abbildende Optik durchläuft. |
