| 摘要 |
[Problem] Es wird eine Polierzusammensetzung bereitgestellt, welche in ausreichendem Maße eine hohe Polierrate für eine Barriereschicht und einen Isolierfilm aufrechterhalten und das Auftreten eines Oberflächendefekts wie einer Erosion oder eines Fangs unterdrücken kann. [Lösung] Es wird eine Polierzusammensetzung bereitgestellt, welche bei der Anwendung zum Polieren eines Poliergegenstandes mit einer Barriereschicht, einer Metallverdrahtungsschicht und einem Isolierfilm verwendet wird, wobei die Polierzusammensetzung Schleifkörner, ein Oxidationsmittel, einen Metallkorrosionsinhibitor, ein Mittel zum Einstellen des pH-Werts und Wasser einschließt, wobei ein Aspektverhältnis von Schleifkörnern 1,22 oder weniger beträgt und ein Verhältnis D90/D10 von einem Durchmesser D90 von Partikeln, wenn ein kumulatives Partikelgewicht von der Feinpartikelseite her 90% des Gesamtpartikelgewichts erreicht, zu einem Durchmesser D10 von Partikeln; wenn das kumulative Partikelgewicht von der Feinpartikelseite her 10% des Gesamtpartikelgewichts erreicht, der gesamten Partikel 1,5 oder mehr in einer Partikelgrößenverteilung der Schleifkörner, die durch ein Laser-Beugungs-Streuungs-Verfahren bestimmt wird, beträgt. |
