| 摘要 |
<p>전자 디바이스 제조 시스템을 효율적으로 동작시키기 위한 방법들 및 장치가 제공된다. 일 양상으로서, 프로세스 툴; 상기 프로세스 툴에 연결된 프로세스 툴 제어기 ― 상기 프로세스 툴 제어기는 상기 프로세스 툴을 제어하도록 구성됨 ―; 및 상기 프로세스 툴 제어기에 연결된 제 1 서브-팹 보조 시스템 ― 상기 제 1 서브-팹 보조 시스템은 제 1 동작 모드 및 제 2 동작 모드로 동작하도록 구성됨 ― 을 포함하는, 전자 디바이스 제조 시스템이 제공되고, 상기 프로세스 툴 제어기는 상기 제 1 서브-팹 보조 시스템이 상기 제 1 동작 모드로부터 상기 제 2 동작 모드로 변경하게 하도록 구성된다.</p> |
