动态特性可调微运动平台

摘要

动态特性可调微运动平台，包括基座、弹片组、微运动子平台、外框架、驱动器、微动工作台、张紧力调节机构、位移传感器和可变阻尼器；所述基座固定于底板，所述弹片组设于所述微动工作台的两侧，且所述弹片的长度方向垂直于所述微动工作台的运动方向，并将所述微动工作台固定于所述基座内；所述微动工作台在进给方向设有位移传感器，用于位移精密检测；所述基座与所述弹片组的连接处还设置有张紧力调节模块，实现刚度频率精密动态调节；所述微动工作台与基座之间设有可变阻尼器，可以配合刚度频率的需求配置最优阻尼；本实用新型通过调节张紧力来改变机构的刚度和固有频率，并通过可变阻尼器设置任意频率点的最优阻尼，实现任意频率下的一致位移输出要求。

主权项

动态特性可调微运动平台，其特征在于：包括基座、弹片组、微运动子平台、外框架、驱动器、微动工作台、张紧力调节机构、位移传感器和可变阻尼器；所述微运动子平台的两侧通过所述弹片组与所述外框架内壁连接，所述弹片组内的弹片为平行布置，且所述弹片的长度方向垂直于所述微运动子平台的运动方向；所述外框架刚性固定于所述基座，所述微动工作台刚性固定于所述微运动子平台；所述驱动器包括有定子和动子，所述的定子固定于所述基座或者所述外框架，所述动子固定在所述微运动子平台上；所述位移传感器设于所述微运动子平台的进给方向的端部；所述外框架与所述弹片组连接处设有槽，使所述外框架内侧形成较薄的可变形的弹性件，所述外框架设有调节所述弹性件变形度的所述张紧力调节机构；所述可变阻尼器设置于所述位移传感器内。