| 发明名称 | 一种降低激光热效应的玻璃通孔制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种降低激光热效应的玻璃通孔制作方法，包括以下步骤：在玻璃衬底待形成通孔位置处制作一定厚度的金属垫(pad)；通过激光将所述待形成通孔位置处的金属垫(pad)和玻璃衬底均烧蚀去除；以及形成所述玻璃通孔后，将所述金属垫清洗去除。本发明的玻璃通孔制作方法通过廉价的激光器，例如C0<sub>2</sub>激光器即可以实现快速有效制作玻璃通孔，减少产生的玻璃熔渣、裂纹、崩边等问题。 | ||
| 申请公布号 | CN104923925A | 申请公布日期 | 2015.09.23 |
| 申请号 | CN201510237903.6 | 申请日期 | 2015.05.12 |
| 申请人 | 中国科学院微电子研究所;华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 | 发明人 | 刘丰满;林来存;邱德龙;褚衍彪 |
| 分类号 | B23K26/382(2014.01)I;B23K26/70(2014.01)I;B23K26/14(2014.01)I;B23K26/402(2014.01)I | 主分类号 | B23K26/382(2014.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 宋焰琴 |
| 主权项 | 一种降低激光热效应的玻璃通孔制作方法，包括以下步骤：在玻璃衬底待形成通孔位置处制作金属垫；通过激光将所述待形成通孔位置处的金属垫和玻璃衬底均烧蚀去除；以及形成所述玻璃通孔后，将所述金属垫清洗去除。 | ||
| 地址 | 100029 北京市朝阳区北土城西路3号 | ||