发明名称 |
一种纳米压印用膨胀聚合压印胶 |
摘要 |
本发明公开了一种纳米压印用膨胀聚合压印胶,其制备所需的原料包括低聚物,还包括膨胀单体。与现有技术相比,纳米压印用膨胀聚合压印胶引入了膨胀单体后,膨胀单体可与低聚物发生共聚,可调节聚合后压印胶的体积变化,从而减少甚至消除压印胶固化后的体积收缩;通过调节膨胀单体的含量,可以得到零固化收缩或体积膨胀的压印胶。本压印胶能有效降低微纳图形中的残余应力,在实现精确的图形复制的同时,降低因残余应力带来的纳米压印脱模过程中图形缺陷的产生。 |
申请公布号 |
CN104932197A |
申请公布日期 |
2015.09.23 |
申请号 |
CN201510274285.2 |
申请日期 |
2015.05.26 |
申请人 |
南方科技大学 |
发明人 |
程鑫;李自平;范增驹;田颜清;罗冰清;陈宇龙;井水淼;余波 |
分类号 |
G03F7/004(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/004(2006.01)I |
代理机构 |
北京品源专利代理有限公司 11332 |
代理人 |
巩克栋;侯桂丽 |
主权项 |
一种纳米压印用膨胀聚合压印胶,其制备所需的原料包括低聚物,其特征在于:还包括膨胀单体。 |
地址 |
518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号 |