小面积离子束辐照小样品注入剂量实时在线准确监测装置

摘要

本实用新型公开了一种小面积离子束辐照小样品注入剂量实时在线准确监测装置。本实用新型的监测装置包括：测束金属接收筒筒底、金属样品台、待辐照材料样品、测束金属接收筒、绝缘隔离圈、抑制电极、接线柱、束流积分仪和离子束调控装置；金属样品台与测束金属接收筒筒底有机结合为一体，实现了对小面积离子束辐照小样品注入剂量的实时在线准确监测；既避免了产生的二次电子对测量准确性的影响，又克服了拦截式测量不能实时在线监测辐照剂量的缺陷；抑制电极内的通束孔与金属样品台直径关联，可做成多种规格成对使用；入射离子束的束流强度在辐照过程中的起伏变化，不会影响到对最终辐照注入剂量的准确测量；装置简单明了，成本低，使用可靠。

主权项

一种小面积离子束辐照小样品注入剂量实时在线准确监测装置，其特征在于，所述监测装置包括：测束金属接收筒筒底、金属样品台、待辐照材料样品、测束金属接收筒、绝缘隔离圈、抑制电极、接线柱、束流积分仪和离子束调控装置；其中，所述金属样品台安装固定在测束金属接收筒筒底的中心上，二者有机结合为一体，金属样品台在测束金属接收筒筒底上形成圆形凸台；所述待辐照材料样品安装固定在金属样品台上；所述测束金属接收筒筒底安装在测束金属接收筒的底部；在测束金属接收筒的侧壁上设置有接线柱；所述接线柱连接至束流积分仪；在测束金属接收筒的离子束入口端固定绝缘隔离圈；在绝缘隔离圈上固定抑制电极，测束金属接收筒与抑制电极间为电绝缘；所述抑制电极的中心设置有通束孔，通束孔的孔径和金属样品台的直径尺寸一致，并同轴，待辐照材料样品不越过金属样品台的周边；离子束的入射方向与测束金属接收筒的中心轴方向一致；在抑制电极之前设置离子束调控装置，从而入射离子束的束斑能完全覆盖抑制电极内的通束孔。