发明名称 一种半导体自动进给检验平台
摘要 本发明公开了一种半导体自动进给检验平台,包括底座、显微镜、纵向进给组件、横向进给组件,进一步的,所述的底座上表面还设有第一按钮、第二按钮、第三按钮、第四按钮,所述的第一按钮控制第一伺服电机正转,所述的第二按钮控制第一伺服电机反正,所述的第三按钮控制第二伺服电机正转,所述的第四按钮控制第二伺服电机反转,通过设定按下第一按钮、第二按钮、第三按钮、第四按钮的顺序进行检验可保证每个半导体都被检验,不会发生漏检和重复检验,降低操作人员劳动强度,提高生产效率。
申请公布号 CN104925465A 申请公布日期 2015.09.23
申请号 CN201510236803.1 申请日期 2015.05.11
申请人 池州华钛半导体有限公司 发明人 彭勇;王明辉;李宏图;赵从寿;陶佩;周根强;石永洪
分类号 B65G25/02(2006.01)I;G01N21/95(2006.01)I 主分类号 B65G25/02(2006.01)I
代理机构 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 代理人 冯子玲
主权项 一种半导体自动进给检验平台,包括底座、显微镜,其特征在于还包括:纵向进给组件,所述的纵向进给组件还包括第一托板、第一伺服电机、第一丝杠、第一丝杠螺母,所述的第一托板位于底座上端,所述的第一托板与底座滑动相连,所述第一伺服电机位于第一托板下表面上端,所述的第一伺服电机与第一托板螺纹相连,所述的第一丝杠位于第一伺服电机下端,所述的第一丝杠与第一伺服电机紧配相连且与第一托板转动相连,所述的第一丝杠螺母贯穿第一丝杠,所述的第一丝杠螺母与第一丝杠螺纹相连且与底座螺纹相连;以及横向进给组件,所述的横向进给组件还包括第二托板、第二伺服电机、第二丝杠、第二丝杠螺母,所述的第二托板位于第一托板上端,所述的第二托板与第一托板滑动相连,所述第二伺服电机位于第二托板下表面右端,所述的第二伺服电机与第二托板螺纹相连,所述的第二丝杠位于第二伺服电机下端,所述的第二丝杠与第二伺服电机紧配相连且与第二托板转动相连,所述的第二丝杠螺母贯穿第二丝杠,所述第二丝杠螺母与第二丝杠螺纹相连且与第一托板螺纹相连。
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