调节激光光斑大小与靶材定位的装置

摘要

本实用新型涉及调节激光光斑大小与靶材定位的装置，用于夹持相纸的夹具置于升降台上，升降台安装于X-Y运动工作台上，X-Y运动工作台位于多螺纹孔工作台底座上，伺服电机与X-Y运动工作台和升降台驱动连接，激光器的输出光路上设置光路系统，光路系统的输出端正对于夹具所夹持的相纸，激光器的光路输出端还布置有用于接收光信号的光电传感器，光电传感器连接至工控机，工控机与伺服电机控制连接。利用激光冲击波作用在相纸上形成的离散斑点，精密测量，逐级逼近所需的光斑大小；利用薄膜来定位靶材；利用测量离散斑点的尺寸来逼近所需斑点尺寸。

主权项

调节激光光斑大小与靶材定位的装置，其特征在于：包括激光器、光电传感器、光路系统、相纸、夹具、升降台、X‑Y运动工作台、多螺纹孔底座、伺服电机和工控机，用于夹持相纸的夹具置于升降台上，升降台安装于X‑Y运动工作台上，X‑Y运动工作台位于多螺纹孔工作台底座上，伺服电机与X‑Y运动工作台和升降台驱动连接，激光器的输出光路上设置光路系统，光路系统的输出端正对于夹具所夹持的相纸，激光器的光路输出端还布置有用于接收光信号的光电传感器，光电传感器连接至工控机，工控机与伺服电机控制连接。