一种用于紫外像增强器的碲钾铯光电阴极

摘要

本发明公开了一种用于紫外像增强器的碲钾铯光电阴极，主要作为提高紫外像增强器的阴极灵敏度。其主要技术方案是：在紫外像增强器的石英玻璃窗的内表面，镀制一层Te-K-Cs紫外光电阴极，由工序A安装石英玻璃窗及蒸发器、B抽真空升温、C阴极蒸镀前的准备、D第一次调节电流、E第二次调节电流、F第三次调节电流、G观察暗电流、H第四次调节电流、I关闭蒸发器电流组成。本发明通过应用证明：从根本上提高了紫外像增强器光电阴极的灵敏度，有效地增加了紫外探测器的探测距离，能够满足军民特殊领域的实用要求。

主权项

一种用于紫外像增强器的碲钾铯光电阴极，其特征在于：在紫外像增强器的石英玻璃窗（1）的内表面，镀制一层Te ‑K‑Cs紫外光电阴极（2），由工序A安装石英玻璃窗及蒸发器、B抽真空升温、C阴极蒸镀前的准备、D第一次调节电流、E第二次调节电流、F第三次调节电流、G观察暗电流、H第四次调节电流、I关闭蒸发器电流组成，具体操作：A、安装石英玻璃窗及蒸发器，首先将镀有导电膜和电极的石英玻璃窗（1），安放在制作光电阴极设备的真空腔体（12）中并位于蒸发源罩（15）的上方，同时在蒸发源罩（15）的下方，分别安装Cs蒸发器（14‑1）、Te蒸发器（14‑2）、K蒸发器（14‑3），Te蒸发器（14‑2）放置在石英玻璃窗（1）的正下方，Cs蒸发器（14‑1）和K蒸发器（14‑3）放置在Te蒸发器的两旁；B、抽真空升温，将设备真空腔体（12）关闭好后，开启抽真空系统（19），当真空腔（12）内部的真空度达到5×10^‑3Pa时，开启温度控制系统（18）对烘箱（9）进行加温，调节温度控制系统（18），使真空腔体的温度在3小时内升到310℃，保温7小时，然后进行2小时的缓慢降温；C、阴极蒸镀前的准备，当真空腔体（12）的温度降到160℃时，打开汞灯（10），开启蒸发器控制系统（20），在石英玻璃窗（1）与光电流收集极（13）之间施加90V的直流电压，同时监控光电流的大小，并开启记录仪进行记录；D、第一次调节电流，分别打开Te、K、Cs蒸发器的电源，开始制作Te‑K‑Cs光电阴极，通过蒸发器控制系统（20），将Te、K、Cs蒸发器的电流调至2.0A，然后按0.25A/分钟的速率增加K蒸发器、Cs蒸发器的电流，按0.1A/分钟的速率增加Te蒸发器的电流；E、第二次调节电流，当K蒸发器和Cs蒸发器的电流达到4.0A时，降低K、Cs两蒸发器的蒸发速率，按0.1A/分钟的速率增加K蒸发器、Cs蒸发器的电流；F、第三次调节电流，当K、Cs两蒸发器的电流分别增加到4.5A时，降低K、Cs两蒸发器的蒸发速率，按0.05A/分钟的速率增加K、Cs两蒸发器的电流，按0.05A/分钟的速率增加Te蒸发器电流，同时观察光电流的变化；G、观察暗电流，当K、Cs两蒸发器电流约为5.0A，Te蒸发器的电流大约为2.1A时，紫外光电阴极的光电流开始增加，此时关闭汞灯（10），观察暗电流；H、第四次调节电流，当暗电流随光电流的上升而上升时，将Cs蒸发器的电流降低0.5‑0.6A，此时光电流保持上升，按0.02A/4分钟的速率增加Te蒸发器电流；I、关闭蒸发器电流，当光电流上升到最大值时，先关闭K蒸发器电流，光电流继续上升，保持Cs蒸发器电流至光电流上升到最大且保持不变时关闭Cs蒸发器电流，继续等待光电流变化直到光电流下降时关闭Te蒸发器电流，之后降低真空腔体（12）的温度到室温，此时Te‑K‑Cs光电阴极（2）制作完毕。