| 发明名称 | 复合氧化物烧结体及由其构成的溅射靶 | ||
| 摘要 | 本发明为一种复合氧化物烧结体，其含有In、Zn及Sn，烧结体密度以相对密度计为90％以上、平均结晶粒径为10μm以下、体电阻为30mΩcm以下，直径10μm以上的氧化锡的凝集粒子数在每1.00mm<sup>2</sup>为2.5个以下。 | ||
| 申请公布号 | CN104926289A | 申请公布日期 | 2015.09.23 |
| 申请号 | CN201510256414.5 | 申请日期 | 2009.12.07 |
| 申请人 | 出光兴产株式会社 | 发明人 | 矢野公规;川岛浩和 |
| 分类号 | C04B35/01(2006.01)I;C04B35/453(2006.01)I;C04B35/457(2006.01)I;C04B35/622(2006.01)I | 主分类号 | C04B35/01(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 蒋亭 |
| 主权项 | 一种复合氧化物烧结体，其含有In、Zn及Sn，烧结体密度以相对密度计为90％以上，平均结晶粒径为10μm以下，体电阻为30mΩcm以下，直径10μm以上的氧化锡的凝集粒子数在每1.00mm<sup>2</sup>为2.5个以下。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||