微探针及其制备方法

摘要

本发明提供的一种微探针，包括主体支撑部和测试探针，所述测试探针包括测试悬臂梁，所述微探针还包括与主体支撑部固定连接的边翼，所述测试悬臂梁与边翼呈一整体结构。该微探针不仅可以通过与主体支撑部固定连接的边翼控制测试悬臂梁和压力监测悬臂梁的尺寸精度，从而保证微探针的测试悬臂梁和压力监测悬臂梁的弹性指数的均匀性。而且，还可以利用压力监测探针监测测试探针与测试样品之间的接触情况，从而避免测试样品出现凸起、小孔、沾污等缺陷而导致测试失败的情况。

主权项

一种微探针，包括主体支撑部（110）和测试探针（120），所述测试探针（120）包括测试悬臂梁（121），其特征在于，所述微探针还包括与主体支撑部（110）固定连接的边翼（140），所述测试悬臂梁（121）与边翼（140）呈一整体结构。