发明名称 在嵌入式固化区中固化热可固化材料
摘要 本公开涉及一种用于在嵌入式固化区(2)中固化热可固化材料(1)的方法、及由此方法产生的组件。此方法包括提供被部分地布置在组件(9)与基底(10)之间的热传导条(3),在组件(9)与基底(10)之间形成有嵌入式固化区(2)。热传导条(3)从嵌入式固化区(2)延伸至可获得辐射区(7),可获得辐射区(7)与嵌入式固化区(2)保持距离且至少部分地无部件(9)和基底(10)。此方法进一步包括借助电磁辐射(6)在可获得辐射区(7)中照射热传导条(3)。通过在热传导条(3)中吸收电磁辐射(6)所产生的热(4a)沿热传导条(3)的长度从可获得辐射区(7)传导至嵌入式固化区(2),以通过从热传导条(3)发散至嵌入式固化区(2)中的传导热(4b)来固化热可固化材料(1)。
申请公布号 CN104937703A 申请公布日期 2015.09.23
申请号 CN201380066399.7 申请日期 2013.12.17
申请人 荷兰应用自然科学研究组织TNO;德国汉高公司 发明人 耶罗·范·德·布兰德;阿肖克·斯里德哈;安雅·亨肯斯;贡特尔·德烈森
分类号 H01L21/58(2006.01)I 主分类号 H01L21/58(2006.01)I
代理机构 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 代理人 严芬;宋志强
主权项 一种用于在嵌入式固化区(2)中固化热可固化材料(1)的方法,所述方法包括:提供被部分地布置在阻隔物(9,10)之间的热传导条(3),在所述阻隔物(9,10)之间形成有所述嵌入式固化区(2),所述热传导条(3)从所述嵌入式固化区(2)延伸至可获得辐射区(7),所述可获得辐射区(7)与所述嵌入式固化区(2)保持距离且至少部分地无所述阻隔物(9,10);借助电磁辐射(6)在所述可获得辐射区(7)中照射所述热传导条(3);其中通过在所述热传导条(3)中吸收所述电磁辐射(6)所产生的热(4a)沿所述热传导条(3)的长度(X)从所述可获得辐射区(7)传导至所述嵌入式固化区(2),以通过从所述热传导条(3)发散至所述嵌入式固化区(2)中的传导热(4b)来固化所述热可固化材料(1)。
地址 荷兰海牙